感光性フィルム「フォテック」フォテック ダイレクトイメージング用RDシリーズ

ダイレクトイメージング用RDシリーズのイメージ画像

ダイレクトイメージング(直接描画)方式に適した、高感度・高解像度で露光後1分で目視認可能な高イメージング性も魅力の感光性フィルムです。

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特長

  • 高密着性、高解像性を有しており、めっき工法による微細回路形成に適しています。
  • 355 nm、405 nmの直描露光機に使用可能なマルチパーパス性、描画箇所の目視確認が可能な高イメージング性も魅力。

感光特性

(測定の一例)

項目 単位 RD-3015 RD-3019 RD-3025
膜厚 µm 15 19 25
露光量 mJ/cm2 95 95 85
推奨硬化段数 x/41ST 15 15 15
密着性 (L/S=x/3x) µm 4 5 7
解像度 (/S=x/x) µm 4 5 7
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露光機:DE-1 UH(アドテックエンジニアリング製、405 nm直描)
基板ラフネス Ra:0.4 µm
露光後加熱(P.E.B.): 80 ℃, 30秒,(箱型乾燥機)
現像液: 1.0 wt% Na2CO3aq., 30 ℃, 0.16 MPa

レジスト形状


RD-3015 (L/S=4 µm /4 µm)


RD-3019 (L/S=5 µm/5 µm)


RD-3025 (L/S=7 µm/7 µm)